가스 및 증기 공급 시스템

가스 및 증기 공급 시스템

Apex 가스 혼합 시스템

Apex 가스 혼합 시스템

전체 정밀 사용 현장 가스 혼합 솔루션

Veeco의 생산 현장에서 입증된 Piezocon® 가스 농도 센서를 갖춘 Apex 가스 혼합 시스템을 통해 제조업체는 더 저렴한 고농도 가스를 구입하여 사용 현장에서 희석하는 방법으로 가스 구입 비용을 최대 60퍼센트 줄일 수 있습니다. Piezocon을 사용하여 실시간으로 혼합물을 측정 및 제어하면 제조업체는 폐기물이 발생하고 꾸준한 세척이 필요한 유동 혼합기와 관련 문제를 해결함으로써 이미 상당한 비용 감소 효과를 더욱 촉진할 수 있습니다. Apex 시스템은 가스 농도에 대해 안정적인 출력과 정밀 제어를 지원하므로 공구 up-time이 향상됩니다. 즉 가스 실린더를 교체할 때마다 재검증하지 않아도 되며 일상적인 실린더 교체로 인한 시스템 down-time을 줄이거나 아예 방지할 수 있습니다. Apex는 반도체 제조업체를 위해 실시간 제어, 우수한 정밀성과 재현성, 저렴한 소유 비용을 실현합니다.

  • 저농도 가스 혼합, 고정밀 가스 혼합, 비용에 민감한 가스 혼합에서 최적의 효과 발휘
  • 개별 가스 실린더와 비교하여 10배 이상의 재현성 제공
  • 익스커션(excursion) 및 재검증이 불필요하고 테스트 시간이 단축되어 시스템 up-time 향상
  • 가스 구매 비용 최대 60퍼센트 즉시 절감
  • 태양 전지, 반도체 등 다양한 적용 분야의 기존 시스템과 원활하게 통합
  • ppm 수치 제어에 Veeco Piezocon 가스 농도 센서를 사용하는 유일한 가스 혼합 시스템

실시간 제어, 우수한 정밀성과 재현성, 저렴한 소유 비용을 원한다면 Veeco의 Apex 가스 혼합 시스템을 선택하십시오.

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