최근에 향상된 Mark V 비소 분해 밸브는 노즐을 사용하여 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.
감소된 시스템 창 코팅 Veeco 비소 분해 밸브는 모든 MBE 시스템과 호환 가능한 다양한 크기로 준비되어 있습니다. 많은 경우에 크기가 두 가지 이상이므로 비소를 많이 사용하는 응용 분야에서 상황에 맞게 사용할 수 있습니다. 출구 노즐은 웨이퍼 또는 platen 전반에 걸쳐 flux uniformity가 탁월한 특정 MBE 시스템에 맞춤화되어 있습니다. Veeco의 자동화된 Valve Positioner SMC-II를 이 소스와 함께 사용하는 것이 이상적이며 이를 통해 needle valve를 안정적으로 자동 제어할 수 있습니다.
비소 분해 밸브는 거의 즉각적인 flux 모듈화와 완벽한 flux 차단을 이루는 needle valve를 사용하여 성장 공정의 제어를 최적화합니다. 충전 재료의 공핍 현상 없이도 작동 온도로 소스를 지속적으로 유휴 작동할 수 있습니다. 기존의 개방형 소스에서 사용되던 열 제어 대신 기계적 flux 제어로 소스의 반응성을 제한하지 않고 충전량을 임의로 높일 수 있습니다.
알려진 장점은 다음과 같습니다.