MBE 시스템

MBE 시스템

GEN20 MBE 시스템

GEN20 MBE 시스템

III-V 및 신소재에 맞게 설계를 구성할 수 있어 융통성이 매우 뛰어난 도구

Veeco의 GEN20™ MBE 시스템은 전자빔 기술과 통합을 요하는 제품을 포함해 III-V 및 신소재에 맞게 설계를 구성할 수 있어 융통성이 매우 뛰어난 도구입니다. 이 시스템에 채택된 생산 설계 기술은 lab-to-fab migration에 적합한 cluster tool 웨이퍼 이송 시스템을 옵션으로 선택할 수 있습니다.

  • 재료 연구 및 생산 준비 환경에 적합
  • 12 MBE 소스 포트와 전자빔 기능 추가 옵션이 있으며 substrate 방향에 대한 수직 소스
  • 수동 또는 자동 웨이퍼 이송 옵션
  • 구성 가능한 극저온패널과 조작기, 셔터, 실시간 모니터링 장비
  • 최대 2가지 성장 모듈을 선택할 수 있는 모듈식 설계

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