정밀 표면 처리 시스템

정밀 표면 처리 시스템

금속 Lift Off - WaferStorm 플랫폼

금속 Lift Off - WaferStorm 플랫폼

독점적인 ImmJET 웨이퍼 처리 기술

이 용제형 시스템은 Veeco의 ImmJET 기술 통합을 통해 기존 습식 벤치 또는 단일 스프레이 도구보다 수율과 처리량은 높이고 화학 처리 비용은 절감시킵니다. 담금 스테이션은 저산소 환경에서 작동하기 때문에 수조의 수명을 유지할 수 있습니다. 탱크에서 담금 작업이 이루어진 후 스프레이 챔버에서 Lift-off 공정이 실행됩니다.

기능

  • 가열식 담금 탱크
  • 고압 스프레이 챔버
  • Lift-off 재료 여과 시스템
  • 고압 유속 모니터링
  • 화학제 소모량 감소

 응용 분야

  • MEMS
  • LED/VCSEL
  • RF 장치
  • 파워 일렉트로닉스
  • 화합물 반도체
  • 데이터 스토리지
 

문의

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