가스 및 증기 공급 시스템

가스 및 증기 공급 시스템

정밀 가스 혼합 시스템

정밀 가스 혼합 시스템

가스 혼합물의 농도 향상으로 생산 수율 우수

Veeco의 정밀 가스 혼합 시스템은 향상된 농도 제어를 통해 가스 혼합물을 생성하므로 더 우수한 공정 제어 및 수율이 가능합니다. 혼합물 농도를 능동적으로 제어하여 상단측 농도 변경이나 편차를 보완할 수 있습니다. 예를 들어 1퍼센트의 dopant premix로 Piezocon 정밀 가스 혼합 시스템은 ± 0.5ppm 이상(탱크 간 및 탱크 수명 주기 내내)의 농도 제어를 통해 50ppm dopant 가스 혼합물을 생성합니다.

  • 비용 절감: 순수한 가스나 고농도 가스 혼합물을 소싱하여 잦은 탱크 교환율을 낮추고 도구 down time을 최소화하여 높은 투자 수익률 가능
  • 다목적: 가장 일반적인 전구체 또는 dopant 가스 혼합물 처리 가능
  • 편리성: 공정 엔지니어가 공정 작업 시 필요한 농도를 다양한 농도 범위에서 수정 가능
  • 간단한 물류 관리: 설비 엔지니어가 여러 농도의 가스 혼합물 재고 축소 가능
  • 간편한 사용: 사용자 위주의 인터페이스를 통해 현장에서 필요한 농도로 다양한 활성 가스 및 희석 가스 사용 가능
  • 소형: 소형 벤트 엔클로저 또는 VMB에 설치 가능

산업 안전 프로토콜을 준수하기 위해 GMS는 표준 반연성 가스 상자에 설치되어야 합니다.

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