이 소스는 재료를 효율적으로 보존하고 균열 또는 비균열 flux를 거의 즉각적으로 모듈화하는 동시에 부식성 증기의 화학적 공격을 막아 줍니다. 내화 금속으로 된 needle valve를 통해 소스 재료의 공핍 현상 없이도 편의성과 flux 제어가 유지됩니다. 청색/녹색 LED 및 레이저 다이오드 장치 생산 분야에서 탁월한 성과가 보고된 바 있습니다.

• 균열 또는 비균열 S flux 생성
• flux 모듈화 및 on/off 제어 기능
• 넉넉한 소스 용량
• 노즐 활용으로 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비 감소
• 시스템 bakeout 중 소스 재료 손실 방지
• 전 세계 유명 II-VI 연구 그룹에서 선택한 소스로 30개 이상 현장 사용 중

Veeco MBE 황 분해 밸브는 다른 표준 소스와 비할 데 없는 편의와 제어를 자랑합니다. 넉넉한 용량의 내화 금속 도가니가 가열되어 황 beam flux(n=8,7,6,5,3,2인 Sn 구성)를 생성합니다. 가스 흐름은 내화 금속 needle valve를 통해 별도로 가열되는 균열 구간으로 조절됩니다. 균열 구간의 온도를 조절하여 비균열 황 flux 또는 더 작은 황 종류 빔을 생성할 수 있습니다. 부식성인 황의 성질 때문에 균열 구간은 내화 금속 대신 석영으로 구성됩니다.

최근에 향상된 Mark V 황 분해 밸브는 노즐을 사용해서 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.

• 재료 비용 절감
• 긴 캠페인 시간
• 단축된 시스템 세척 시간
• 덜 유해한 폐기물 생성
• 메모리 효과 절감
• 낮아진 미립자 수치 및 플레이킹
• 줄어든 시스템 창 코팅

Veeco의 자동화된 Valve Positioner SMC-II를 이 소스와 함께 사용하는 것이 이상적이며 이를 통해 needle valve를 안정적으로 자동 제어할 수 있습니다.