Gridless End-Hall 이온 소스

Gridless End-Hall 이온 소스

Veeco의 Gridless End Hall 이온 소스는 진공 코팅 공정용 고전류 빔을 제공합니다.

Mark II+ Gridless 이온 소스

빔 전류를 대폭 높이고 탈착식 양극 어셈블리를 채택하여 Mark II+ End-Hall 이온 소스의 가치를 더욱 높였습니다.

Mark II+ 컨트롤러

Mark II+ 이온 소스 컨트롤러로 이온 소스의 성능과 박막 식각, 세척 및 증착의 균일성을 극대화할 수 있습니다.

Mark II+ Gridless 고출력

고전류 저에너지 이온이 필요한 분야의 경우, Mark II+ Gridless 고출력 이온 소스는 직경 70cm - 130cm의 챔버에서 진행되는 진공 코팅 공정용으로 설계되었습니다.

Mark I+ Gridless 이온 소스

Veeco의 Mark I+ Gridless 이온 소스는 공정 균일성을 향상시키고 substrate 손상을 막아 줍니다. 진공 코팅 공정용으로 설계된 고전류 빔을 제공합니다.