이온 소스

이온 소스

Veeco는 업계 유일의 선형 그리드 소스 등의 다양한 분야에 가장 폭넓은 이온빔 소스를 제공합니다.

그리드형 DC 이온 소스

성능이 입증된 선형 그리드형 DC 이온 소스로서 광범위한 대량 개별 substrate 또는 대량 substrate 배치를 이용하는 이온 빔 증착 공정 플랫폼에 사용되어 고도의 균일성과 신뢰성을 발휘합니다.

Gridless End-Hall 이온 소스

Veeco의 Gridless End Hall 이온 소스는 진공 코팅 공정용 고전류 빔을 제공합니다.

그리드형 RF 이온 소스

Veeco의 그리드형 RF 이온 소스는 장기 이온 빔 증착 공정의 생산성 향상을 위해 설계되었습니다.