레이저 프로세싱 시스템

레이저 프로세싱 시스템

Ultratech의 상용 레이저 프로세싱 시스템은 매우 얕은 접합 및 고도로 활성화된 소스/드레인 컨택트를 제작하는 어려운 문제에 대한 솔루션을 제공합니다.

Veeco Ultratech LSA 101
레이저 스파이크 어닐 시스템

세계 유수의 IDM 및 파운드리 업체가 선정한 Veeco의 LSA101 Ultratech 시스템은 40nm에서 14nm 노드까지 첨단 논리 기구를 대량 생산할 때 선호되는 기술입니다.

Veeco Ultratech LSA 201 주위 제어 레이저 스파이크 어닐 시스템

LSA 201는 LSA 101와 아키텍처가 동일하지만 스캐닝 레이저 시스템에서 전체 웨이퍼 주위 제어를 가능하게 하는 특허받은 마이크로 챔버 디자인을 포함하고 있습니다.