MBE 시스템

MBE 시스템

Veeco는 혁신적이고 안정적인 MBE(분자선 결정성장) 시스템 제품군을 업계에서 가장 다양하게 제공합니다.

GEN20 MBE 시스템

Veeco의 GEN20™ MBE 시스템으로 융통성이 뛰어난 도구를 만나 보십시오. 전자빔 기술이 필요한 소재 등 신소재와 III-V에 맞게 구성할 수 있습니다.

GEN200 MBE 시스템

Veeco의 GEN200® MBE 시스템은 현재 출시된 것 중 가장 경제적이고 용량이 큰 다중 4" 생산용 MBE 시스템으로, 우수한 처리량과 뛰어난 웨이퍼 품질을 자랑합니다.

GEN2000 MBE 시스템

GEN2000® MBE 시스템으로 탁월한 throughput과 긴 캠페인 시간, 컴팩트한 배치도, 간결한 cluster tool 웨이퍼 공정을 누려 보십시오.

GEN930 R&D MBE 시스템

GEN930® MBE 시스템은 질화물 및 산화물 작업을 위해 direct pump coupling으로 III-V 또는 II-VI 재료를 개발하는 데 이상적입니다. 

GENxcel R&D MBE 시스템

새로운 GENxcel 시스템은 2013년 8월에 출시된 이후 베스트셀러를 기록하며 수상 경력을 자랑하는 MBE 시스템 GENxplor™에서 확장되고 있으며, GENxplor 시스템의 4" 성능에 비해 단일 3" 기판에 고품질 적층 성장이 가능합니다.

GENxplor R&D MBE 시스템

수상 경력에 빛나는 Veeco의 GENxplor™ R&D MBE 시스템으로 탁월한 공정 융통성을 누려 보십시오. Veeco의 입증된 GEN10™ MBE 시스템 성장 챔버 설계를 제공합니다.

GEN10 MBE 시스템

GEN10™ MBE 시스템은 성능이 입증된 플랫폼에 내장되는 cluster tool 시스템으로, 경제성과 융통성이 가장 우수하며 최대 3가지의 재료별 성장 모듈을 선택하여 구성할 수 있습니다.