중온

중온의 MBE 소스는 hot-lip SUMO 소스에서 열 effusion을 위한 표준 filament에 이르기까지 사실상 모든 용도에 사용할 수 있습니다.

단일 Filament 소스

단일 Filament 소스로 대용량 고부가가치 MBE 공정에 알맞은 경제적 솔루션을 이용하시기 바랍니다. 종속 대역 열전대와 단일 히터 filament를 사용하여 750°C - 1200°C 범위의 작업을 처리합니다.

갈륨 및 인듐용 하방성 SUMO 소스

MBE용 하방성 SUMO® 소스는 넉넉한 용량과 탁월한 flux uniformity를 갖추고 있으며 shutter flux transients가 미미하고 공핍 효과는 최소 수준입니다.

이중 Filament 소스

Ga 및 In이 함유된 고품질 재료 성장용으로 설계된 이중 Filament 소스는 충전 재료의 재응축을 방지하고 결함을 줄여 줍니다.

알루미늄용 Cold Lip SUMO 소스

Cold Lip SUMO® 소스로 우수한 두께 균일성과 flux 안정성을 얻는 한편 손상을 방지할 수 있습니다. 그룹 III 재료 증발을 위한 최적의 MBE 소스 기술입니다.

개폐식 소스

Veeco의 개폐식 소스는 유지 관리 및 시스템 uptime을 위한 소스 용량, 소스 제거를 포함해 MBE의 기능적 제한 사항에 대처합니다.

갈륨 및 인듐용 Hot Lip SUMO 소스

Hot Lip SUMO® 소스는 MBE 공정에 알맞은 탁월한 flux uniformity를 갖추고 있으며 신경 쓰지 않아도 될 정도의 shutter flux transients, 최소한의 장기적 공핍 효과가 있습니다.

항산소 소스

수명이 긴 Veeco 항산소 소스를 사용하면 중온 분압 조건에서 정밀한 MBE 작업이 가능합니다.

항암모니아 소스

수명이 긴 중온 환경용 Veeco 항암모니아 MBE 소스는 암모니아(NH3) 기반 결정성장의 생산성과 성과를 극대화합니다.