특수 소스

특수 소스

Veeco는 filament 1개형 및 2개형 설계 등 가장 광범위한 소스를 제공합니다.

저온 가스 소스

Veeco의 저온 가스 소스를 사용하면 CBr4 및 NH3 등의 MBE 시스템용 소스 가스를 저렴하게 주입할 수 있습니다.

가스 분해기

고성능 UHV 가스 공급에 사용되는 Veeco의 가스 분해기는 flux uniformity를 최적화하는 독특한 기능이 있습니다.

개폐식 소스

Veeco의 개폐식 소스는 유지 관리 및 시스템 uptime을 위한 소스 용량, 소스 제거를 포함해 MBE의 기능적 제한 사항에 대처합니다.

H 원자 소스

완전 내화 금속 소스는 1800°C - 2200°C 범위의 작업용으로 설계되었으며 H 원자 소스는 대부분의 준비 챔버 및 성장 챔버에 사용할 수 있습니다.

항산소 소스

수명이 긴 Veeco 항산소 소스를 사용하면 중온 분압 조건에서 정밀한 MBE 작업이 가능합니다.

산소, 질소, 수소용 범용 전구 RF 플라즈마 소스

범용 전구 RF 플라즈마 소스는 전자 및 광전자공학 재료의 GaN 성장을 위한 최적의 조건과 더불어 따라올 자가 없는 플라즈마 안정성 및 재현성을 자랑합니다.