Veeco의 개폐식 소스는 유지 관리 및 시스템 uptime을 위한 소스 용량, 소스 제거를 포함해 MBE(분자선 결정성장)의 기능적 제한 사항을 해결합니다. 개폐식 소스는 소스 게이트 밸브로 성장 환경에서 개별 소스를 꺼내서 분리하며 그런 다음 전체 챔버를 환기하지 않은 채 제거합니다. 그런 다음 동일한 재료 또는 새로운 재료로 소스를 손쉽게 재보충한 후 성장 모듈의 표준 위치에 재창착하여 중단은 최소화하면서 계속 성장시킬 수 있습니다. 전체 시스템 환기 및 bake 공정이 필요하지 않으므로 사용자는 새로운 재검증 소스 및 substrate 거리와 몇 주에 달하는 downtime을 줄일 수 있습니다. 또한 차압 펌핑 옵션은 소스 주위의 기저 압력을 두드러지게 개선하면서 소스 재료의 오염을 감소시키며, 부식 환경 및 산화 환경에서 소스의 수명이 길어집니다. Veeco의 개폐식 소스는 재료 융통성과 시스템 생산성을 위한 선도적인 솔루션이며 특허 받은 SUMO 소스 기술과 함께 당사의 리더십을 강화합니다.

• 사실상 무중단 시스템 작업
• 재보충 및 유지관리 시간 감소
• 신뢰성 및 무벨로 설계 개선
• 차압 펌핑을 통해 소스 재료 순도 유지
• Veeco MBE 시스템에만 이용 가능