12cm RF 이온 소스

장기 이온 빔 증착 공정의 생산성 향상을 위해 설계

Veeco 12cm RF 이온 소스를 사용하면 고도로 제어되는 광학 코팅의 이온 빔 보조 증착 또는 이온 빔 증착과 같은 장기 무중단 반응성 공정의 성능과 품질을 높일 수 있습니다. 업계 유일의 filamentless RF Neutralizer를 특징으로 가지며, 유지보수 요구가 낮으며 장기간 프로덕션 운영이 가능합니다. 12cm RF 이온 소스는 100퍼센트 아르곤, 산소 또는 각종 반응성 기체를 사용하는 공정에 이상적입니다.

• 광범위한 작업 지원: 50eV에서 1500eV 및 50mA에서 500mA
• 비활성 환경과 산화 환경에서 안정적이고 균일한 작업 가능
• 수냉식 - 저전력에서 중전력 정도의 작업
• 안정적이고 효율적인 플라즈마 작업으로 정밀 제어 및 고도의 재현성 발휘
• 배치 생산 및 load-locked production process에 모두 적합