이 소스는 고증기압 재료에 이상적인 경제적 솔루션입니다. Hot-lip 가열 설계로 도가니 오리피스의 응축을 줄였으며, 열 차폐 엔클로저를 채택하여 작동 온도 100°C - 750°C 범위에서 소스의 반응성과 안정성을 최적화했습니다.

• 경제적인 저온 증발 솔루션으로 400개 이상 현장 사용 중
• 단일 filament hot-lip 가열로 도가니 오리피스의 응축 방지
• 입증된 성능
• 대부분의 MBE 시스템 및 맞춤 UHV 챔버와 호환 가능

저온 단일 Filament 소스는 고증기압 재료의 flux를 안정적이고 일정하게 공급합니다. 열 질량이 적기 때문에 750°C 미만에서의 성능이 기존 소스를 능가합니다. 작동 온도 100°C - 750°C 범위에서 소스 반응성과 안정성의 최적화를 위해 설계된 열 차폐 패키지에 소스가 밀폐됩니다. 작은 온도 변화조차도 flux에서는 극적인 변화를 불러올 수 있기 때문에 온도 안정성은 고증기압 재료에 중요합니다.

이 소스는 개조 단일 filament 설계가 특징입니다. filament로 도가니 바닥 부분을 균일하게 가열하되 상단의 filament 밀도가 높아 오리피스 복사열 손실을 상쇄하는 형태로 "hot-lip" 가열이 이루어집니다. Hot-lip 가열은 도가니 오리피스에서 재료 recondensation을 방지하며 이로 인해 source occlusion과 빔 shadowing이 일어날 수 있습니다.

저온 단일 Filament 소스는 우수한 성능과 일반 응용 분야에 맞는 가치를 제공합니다. 까다로운 응용 분야이거나 더 큰 소스 용량이 필요할 때는 저온 이중 Filament 또는 저온 SUMO 소스가 적합합니다.

성능 및 장점 저온 단일 Filament 소스는 고증기압 재료를 증발시키기 위한 요구에 따라 정확하게 맞춤 조절됩니다.

장점:

• 낮은 작동 온도에서 최적의 성능 발휘
• 신속한 flux 안정화
• 탁월한 장기적 flux 안정성
• 도가니 오리피스의 응축을 방지하는 Hot-lip 가열(안티몬, 텔루륨 및 납 화합물 등과 같은 까다로운 재료 입증 완료)