수명이 긴 Veeco 항산소 소스를 사용하면 중온 분압 조건에서 정밀한 MBE 작업이 가능한 것은 물론 캠페인 시간을 늘리고 수리 비용을 절감할 수 있습니다. 높은 산소 분압용 substrate 히터와 최적의 flux 분배 및 공핍 효과 최소화를 위한 SUMO 도가니 등의 옵션이 있습니다.

• 산소 환경에서 수명 연장
• flux 분포를 최적화하고 공핍 효과를 최소화하는 SUMO 도가니
• 최고 산소 분압 5milliTorr
• 최고 온도 1150°C
• 20개 이상 현장 사용 중

IC 업계에서 산화물이 차지하는 중요성과 이러한 재료를 사용해서 가능해진 다양한 범위의 전자적 특성 및 광학적 특성 때문에 산화물 재료 연구는 수년 동안 매우 향상되어 왔습니다.

부식성인 산소의 성질 때문에 산소 환경에서 박막 연구를 수행하는 것은 장비상의 문제점을 일으킵니다. 예를 들어 substrate 온도 800°C를 유지하면서 10Torr - 5Torr 또는 그 이상의 산소 환경에서 재료를 열 증발시키는 것은 흔한 일입니다. 높은 산소 분압과 온도는 소스와 substrate 히터가 가진 가열 요소의 수명을 크게 단축합니다. 그 결과 장비의 uptime이 떨어져 캠페인 시간이 단축되고 수리 비용이 증가하게 됩니다.

몰리브덴 및 탄탈륨과 같은 기존의 재료와는 다른 특수 항산소 재료를 사용하여 이제는 산소 분압이 높은 환경에서 Veeco의 혁신적이고도 입증된 소스와 substrate 히터를 작동할 수 있습니다. Veeco의 항산소 소스는 현재 최고 온도 1150°C, 최고 산소 분압 5milliTorr에서 사용 가능합니다. 최고 온도 800°C, 산소 분압 5milliTorr까지는 Substrate 히터도 사용 가능합니다.