white phosphorus는 산소와 격렬하게 반응하기 때문에, 유지관리 및/또는 소스 리로드 목적으로 MBE(분자선 결정성장) 시스템을 환기하기 전 안전하고 효율적으로 성장 모듈에서 white phosphorus를 수집하고 중화하는 Veeco의 Phosphorus Recovery System(PRS)을 사용하는 것이 좋습니다. Veeco Molly® Growth Control 소프트웨어를 통해 프로세스를 제어하고 면밀히 모니터링합니다. Veeco PRS는 저용량 또는 대량 제조 환경을 수용할 수 있도록 두 가지 모델로 제공됩니다.
Veeco 인 분해 밸브 온도 컨트롤러는 기존 및 새로운 인 분해 밸브에서 사용이 가능하며, 기온 또는 수냉 온도 등의 환경 조건이 바뀌어 발생할 수 있는 white zone temperature 불안정성을 정확하고 안정적으로 제어합니다.
온도 컨트롤러는 지속적으로 white zone temperature를 ±0.05°C 미만으로 유지하여 인 flux 안정성을 ±1% 미만으로 유지합니다. 더불어 온도 컨트롤러는 white zone 기류를 수동으로 설정하는 것과는 달리, 사용자가 white zone의 온도를 정확하게 설정하도록 도와 분해 밸브 공정 설정을 간소화합니다.