NEXUS DLC-X Diamond-Like Carbon(DLC) 시스템

초강력 내부식성 TFMH 코팅막 기술

Veeco NEXUS DLC-X 시스템은 얇은 DLC(diamond-like carbon) 피막을 조밀하고 균일하며 재현 가능한 방식으로 증착시켜 오래 지속되는 박막 자기 헤드(TFMH) 슬라이더 오버코팅과 증착 패드를 만들어 줍니다. Nexus DLC-X는 업계 최초의 production-worthy Filtered Cathode Arc 소스를 사용하여 오버코팅 두께를 20A 이하로 줄였으며, 단계별 증착 범위를 향상시켜 이전 제품보다 공정 수율이 우수합니다.

• 펄스형 filtered cathodic arc의 탁월한 균일성과 재현성 및 피막 견고성
• 분사 거리가 긴 저압 PVD로 조밀하고 pin-hole 없는 실리콘 시드층 생성
• Reactive PVD 공정 가능
• 저에너지 NEXUS 420 이온 빔 식각 소스를 조정하여 최저 75V에서 최고 300V의 빔 에너지로 안정적인 작업 가능
• 식각 및 증착 끝점의 제어를 돕는 경사형 ellipsometer