수명이 긴 Veeco 항암모니아 소스로 uptime 증대와 수리비 절감 효과를 누려 보십시오. 최고 온도 120°C, 최고 암모니아 분압 1x10-4Torr까지 사용 가능합니다. 최고 온도 1200°C, 산소 분압 1x10-4Torr까지는 substrate 히터도 사용 가능합니다.

• 암모니아 환경에서 수명 연장
• flux 분포를 최적화하고 공핍 효과를 최소화하는 SUMO 도가니
• 최고 암모니아 분압 1x10-4Torr
• 최고 온도 1200°C
• 20개 이상 현장 사용 중

성장 속도가 우수하고 제어가 용이한 덕분에 암모니아(NH3)를 질소 소스로 많이 사용하고 있습니다. 하지만 암모니아는 장비의 수명을 크게 단축할 수 있습니다. 수소 취하 때문에 소스와 히터 filament가 겨우 몇 개월만 지속되는 것은 흔히 있는 일입니다. 따라서 장비의 uptime이 떨어져 캠페인 시간이 단축되고 수리 비용이 증가하게 됩니다.