MBE(분자선 결정성장) 응용 분야에서 substrate에 도달하기 전에 열 균열이 이루어져야 하는 고성능 초고진공(UHV) 가스 공급을 위해 Veeco의 가스 분해기는 flux uniformity를 최적화하기 위해 맞춤형 원뿔형 배출구와 엔드플레이트 등 독특한 기능을 제공합니다. 이 가스 분해기는 탄탈륨 또는 PBN 분해 튜브의 복사 가열에 기존의 단일 filament 소스 히터를 사용합니다. 여러 가지 설계 옵션으로 공정 효율을 더욱 높일 수도 있습니다.

• 열 균열이 이루어져야 하는 UHV 가스 공급
• Ta 또는 PBN 가스 컨덕턴스 튜브
• 맞춤 배출구와 엔드플레이트 및 탁월한 균일성
• 40개 이상 현장 사용 중

가스 분해기는 substrate에 도달하기 전 열 분해를 거쳐야 하는 소스 가스와 함께 사용됩니다. 가스 분해기는 탄탈륨 또는 PBN 분해 튜브의 복사 가열에 기존의 단일 filament 소스 히터를 사용합니다. 분해 효율을 높이기 위해 내부 배플을 사용할 수 있습니다. 소스는 복수의 가스 주입구, 최대 3개의 개별 컨덕턴스 튜브 등과 함께 사용할 수 있습니다.