Veeco의 Gas Delivery System(GDS)은 비활성, 유해 및/또는 인화성 가스를 위한 연동 장치와 모니터링을 제공하여 가스를 정밀하게 제어합니다. Molly® ECS1 Growth Control Software를 사용하면 기존 시스템에 손쉽게 통합할 수 있습니다.

고객의 필요와 예산에 맞는 다양한 패키지 옵션이 마련되어 있습니다. 모든 패키지에는 회로별 수동 가스관 차단 밸브, 가스 필터 정화기, 대량 흐름 컨트롤러, 공압 제어식 run 및 환기 밸브가 포함됩니다.

• Veeco MBE 가스 소스의 가스를 제어하는 효율적이고 안전한 수단
• 손쉬운 공정 조작과 모니터링
• 구체적인 상황과 예산에 맞춘 세 가지 모델 구성