GEN10™ MBE 시스템은 성능이 입증된 플랫폼에 내장되는 cluster tool 시스템으로 경제성과 융통성이 가장 우수하며 최대 3가지의 재료별 성장 모듈을 선택하여 구성할 수 있습니다. 이와 같이 시스템 활용도가 우수하여 여러 연구원이 동시에 시스템을 사용할 수 있으며 무인 성장 및 calibration도 가능합니다. 여기에 Veeco의 구성요소 기술까지 합쳐진 GEN10™ MBE 시스템은 용도를 불문하고 MBE 업계에서 가장 많이 선택받는 제품입니다.

• 자동화된 웨이퍼 이송으로 시스템 활용도가 우수하여 여러 연구원이 동시에 시스템을 사용할 수 있으며 무인 성장 및 calibration도 가능합니다.
• 성장 모듈을 최대 3개까지 추가하여 경제적으로 업그레이드 가능
• 재료별 성장 모듈을 클러스터 구조로 구성할 수 있어 서로 호환되지 않는 재료도 진공 시스템 하나에서 성장 가능
• 대규모 생산용 MBE 시스템으로 가는 직접 프로세스 경로