Veeco의 GEN20™ MBE(분자선 결정성장) 시스템은 전자빔 기술과 통합을 요하는 제품을 포함해 III-V 및 신소재에 맞게 설계를 구성할 수 있어 융통성이 매우 뛰어난 도구입니다. 이 시스템에 채택된 생산 설계 기술은 lab-to-fab migration에 적합한 cluster tool 웨이퍼 이송 시스템을 옵션으로 선택할 수 있습니다.

• 재료 연구 및 생산 준비 환경에 적합
• 12 MBE 소스 포트와 전자빔 기능 추가 옵션이 있으며 substrate 방향에 대한 수직 소스
• 수동 또는 자동 웨이퍼 이송 옵션
• 구성 가능한 극저온패널과 조작기, 셔터, 실시간 모니터링 장비
• 최대 2가지 성장 모듈을 선택할 수 있는 모듈식 설계