LSA 201 주위 제어 레이저 스파이크 어닐링 시스템
Veeco의 LSA201 LSA(레이저 스파이크 어닐링) 시스템은 LSA101과 동일한 아키텍처를 가지고 있지만, 스캐닝 레이저 시스템에서 전체 웨이퍼 주위 제어를 가능하게 하는 특허받은 마이크로 챔버 디자인을 포함합니다. 마이크로 챔버는 진공 로드 록을 사용할 필요가 없다는 점에서 특별합니다. 이 시스템은 성형 가스를 포함한 모든 불활성 가스의 혼합물을 가동할 수 있습니다. LSA201은 high k 메탈 게이트 접합 활성화 및 니켈 실리사이드 형성과 같은 용도가 목적입니다. LSA201은 주위 제어가 중요한 인터페이스 엔지니어링 및 재료 수정과 같은 20nm 이하의 프로세스에 매우 적합합니다.
주요 특징
- 장파장, 브루스터 각, 최적의 다이 내 균일성을 위한 p-편광
- 엄격한 온도 제어를 유지하는 폐쇄 루프 온도 피드백 제어
- 플래너 및 FinFET 기기 모두를 프로세싱하는 데 적합한 레이아웃 독립형 설계
- 체류 시간이 유연한 국지화된 응력장은 응력 프로세싱을 낮추고 웨이퍼 파손을 감소시킵니다.