Mark II+ Gridless 이온 소스

향상된 빔 출력과 유지관리 기능

빔 전류를 대폭 높이고 탈착식 양극 어셈블리를 채택하여 가치를 더욱 높인 Mark II+ End-Hall 이온 소스는 업계에서 선두를 달리는 광학 코팅 시스템용 Veeco gridless 이온 소스 제품군을 혁신적으로 개선합니다.

• 최대 70퍼센트나 더 높은 빔 전류로 고속 공정과 대형 챔버 사용 가능
• 탈착식 양극 어셈블리로 신속한 유지관리 및 downtime 감소
• feedthrough와 배선을 내장하여 설치하기 쉽고 신뢰성 우수
• 반응성 기체 및 비활성 기체와 높은 전력 밀도에 적합
• Mark II 소스와 동일한 장착 플레이트를 사용하는 컴팩트한 폼 팩터로 빠른 업그레이드 가능
• 유연한 통합 방식으로 공간 절약형 시스템 설계와 광범위한 빔 각도 이용 가능