NEXUS PVDi 물리적 증기증착 시스템

광범위한 분야에 사용되는 융통성 있는 증착 플랫폼

Veeco의 단일 표적 NEXUS PVDi 물리적 증착 시스템은 유연성이 매우 뛰어나 광범위한 박막 증착 분야에 사용됩니다. 200mm까지 처리 가능한 NEXUS PVDi는 첨단 공정 기능과 최고의 균일성 및 여러 가지 증착 모드를 갖추고 있습니다.

• 타의 추종을 불허하는 신뢰성과 균일성으로 공정 수율 대폭 향상
• 보다 우수한 throughput과 uptime으로 소유 비용 절감
• 이온 빔 증착, 이온 빔 식각, 원자층 증착 등 다양한 Veeco 기술과 통합되는 NEXUS 플랫폼