Savannah – R&D용 열 ALD
첨단 연구를 위한 첨단 기능
Veeco는 전 세계 연구 및 산업을 위한 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템의 선도적인 공급업체로서, 원자 등급에 맞게 접근 가능하고 경제적이며 정확한 턴키 시스템을 제공합니다. 박막 증착은 당사의 전문 분야입니다. 당사의 Savannah® 시리즈 박막 증착 도구는 이러한 역량을 보여줍니다.
Savannah®는 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)에 참여하고 경제적이면서도 견고한 플랫폼을 찾는 전 세계 대학 연구원들이 선호하는 시스템이 되었습니다. 당사는 지난 10년간 이러한 시스템을 수없이 많이 납품한 경험이 있습니다. Savannah®는 전구물질 및 전력 절약 기능을 효율적으로 사용하여 박막 증착 시스템의 작동 비용을 크게 줄입니다.
주요 기능은 다음과 같습니다.
- 실시간 Ellipsometry
- 실시간 QCM
- 자체 조립 단층(SAMS)
- 2초 주기 시간
- 통합 오존
- 낮은 증기압 증착
- 일괄 처리
- Glove Box 통합
Savannah®는 고속 공압 펄스 밸브가 장착되어 있어 초고 종횡비 substrate에서 박막 증착을 위한 고유한 Exposure Mode™가 가능합니다. 이 입증된 정밀 박막 코팅 방법론은 > 2000:1 이상의 종횡비를 가진 substrate에 균일한 컨퍼멀 필름을 증착하는 데 사용할 수 있습니다. Savannah®는 세 가지 구성으로 제공됩니다. S100, S200 및 S300. Savannah®는 다양한 크기의 substrates를 보유할 수 있습니다(S300의 경우 최대 300mm). Savannah® 박막 증착 시스템에는 가열된 전구물질 라인과 최대 6개의 라인을 추가할 수 있는 옵션이 구비되어 있습니다. Savannah®는 가스, 액체 또는 고체 전구물질을 취급할 수 있습니다.
Savannah® G2 기술 사양
| Substrate 크기 | 사바나 S100: 최대 100mm Savannah® S200: 최대 200mm Savannah® S300: 최대 300mm |
| 치수(w x d x h) | 사바나 S100: 585 x 560 x 980mm Savannah® S200: 585 x 560 x 980mm Savannah® S300: 686 x 560 x 980mm |
| 캐비닛 | 탈부착 가능한 패널 및 잠금 가능한 전구물질 도어가 있는 화이트 파우더 코팅 페인트를 칠한 강철 |
| 작동 모드 | Continuous Mode™(고속) 또는 Exposure Mode™(초고 종횡비) |
| 전원 | 115VAC 또는 220VAC, 1500W(펌프 제외) |
| 컨트롤: | LabVIEW™, Windows™ 7, Lenovo 랩톱, USB 제어 |
| 최대 Substrate 온도 | S100: RT – 400°C S200: RT – 350°C S300: RT – 350°C |
| 증착 균일성 | (Al2O3) <1% (1σ) |
| 주기 시간 | 200°C에서 Al2O3을 이용한 주기당 <2초 |
| 진공 펌프 | Alcatel 2021C2 – 14.6 CFM |
| 호환성 | 클린 룸 클래스 100 호환 |
| 규정 준수 | CE, TUV, FCC |
| 전구물질 전달 시스템, 포트 | 2 라인 표준, 최대 6 라인 이용 가능 각 라인은 고체, 액체 및 가스 전구물질을 수용합니다. 라인은 최대 200°C까지 독립적으로 가열될 수 있습니다 |
| 전구물질 전달 시스템, 밸브 | 10msec 응답 시간을 가진 업계 표준 고속 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 밸브 |
| 전구물질 실린더 | 개별 가열 50ml 스테인리스 스틸 실린더, 옵션인 대형 실린더 사용 가능 |
| 캐리어/벤팅 가스 | N2 질량 유량 제어, 100 SCCM |
| 옵션 | 저증기압 전달(LVPD) 시스템 오존 생성기 웨이퍼 카세트 또는 3D 물체를 위한 돔 덮개 Glove Box 인터페이스 실시간 Ellipsometry 실시간 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스(Quartz Crystal MicroBalance, QCM) 자체 조립 단층(SAMS) 입자 코팅 |