이 소스는 여러 개의 가열 구간이 있어 균열 또는 비균열 셀레늄 flux를 생성하는 동시에 부식성 증기의 화학적 공격을 막을 수 있습니다. 전체가 금속으로 된 needle valve를 통해 소스 재료의 공핍 현상 없이도 최고의 편의성과 flux 제어가 유지됩니다. 청색/녹색 LED 및 레이저 다이오드 장치 생산 분야에서 탁월한 성과가 보고된 바 있습니다.

• 특허 받은 설계로 50개 이상 현장 배치
• flux 모듈화 및 on/off 제어 기능
• 넉넉한 소스 용량
• 노즐 활용으로 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비 감소
• 시스템 bakeout 중 소스 재료 손실 방지
• 전 세계 유명 II-VI 연구 그룹에서 선택한 소스로 50개 이상 현장 활용 중

Veeco의 셀레늄 분해 밸브는 전 세계 유명 II-VI 연구 그룹에서 사용됩니다. 여러 개의 가열 구간은 균열 또는 비균열 셀레늄 flux를 생성하는 데 작동될 수 있습니다. 전체가 금속으로 된 needle valve가 도가니부터 컨덕턴스 튜브를 거쳐 성장 모듈에 이르기까지 가스 흐름을 조절합니다. 컨덕턴스 튜브는 셀레늄 증기의 화학적 공격에 저항하도록 탄탈륨으로 구성되어 있습니다.

최근에 향상된 Mark V 셀레늄 분해 밸브는 노즐을 사용해서 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.

• 재료 비용 절감
• 긴 캠페인 시간
• 덜 유해한 폐기물 생성
• 메모리 효과 절감
• 낮아진 미립자 수치 및 플레이킹
• 줄어든 시스템 창 코팅

Veeco의 셀레늄 분해 밸브는 500cc 및 1200cc 크기로 제공되므로 다양한 MBE 시스템과 호환 가능합니다. 배출 노즐은 웨이퍼 또는 platen 전반에 걸쳐 flux uniformity가 탁월한 특정 MBE 시스템에 맞춤화되어 있습니다. Veeco의 자동화된 Valve Positioner SMC-II를 이 소스와 함께 사용하는 것이 이상적이며 이를 통해 needle valve를 안정적으로 자동 제어할 수 있습니다.

성능 및 장점

Veeco의 셀레늄 밸브 소스는 다른 표준 소스와 비할 데 없는 편의와 flux 제어를 자랑합니다. Needle valve로 거의 즉각적인 flux 모듈화와 완벽한 flux 차단이 이루어지므로 최적의 성장 공정 제어가 가능합니다. 충전 재료의 공핍 현상 없이도 작동 온도로 소스를 지속적으로 유휴 작동할 수 있습니다. 기존의 개방형 소스에서 사용되던 열 제어 대신 기계적 flux 제어로 소스의 반응성을 제한하지 않고 충전량을 임의로 높일 수 있습니다.

장점:

• 더 길어진 성장 캠페인
• bakeout과 유휴 작동 기간 중 충전량 유지
• 더 철저한 충전 outgassing
• 시스템 내 더 낮아진 비의도적 그룹 VI 백그라운드

ZnMgSSe/ZnSSe/ZnCdSe를 토대로 한 청색/녹색 발광 다이오드의 성공적인 성장으로 탁월한 flux 안정성과 반응성이 입증되었습니다.