광학 코팅을 위한 SPECTOR-HT 이온 빔 Sputtering 시스템

물리적 증착 속도의 이온 빔 광학 필름

수상 경력으로 품질이 입증된 SPECTOR-HT™ 고급 이온 빔 Sputtering 시스템이 제공하는 한층 높은 생산성과 throughput으로 최고 품질의 광학 박막을 생산하십시오. 이온 빔 시스템에서 SPECTOR® 제품군의 입증된 성능에 기반한 SPECTOR-HT 시스템은 업계에서 층 두께 제어 기능이 뛰어나며, 공정 안정성이 향상되어 광 손실률이 적습니다.

SPECTOR-HT는 대역 필터부터 빔 스플리터, 레이저 패시브까지 목표 재료 활용, 광 endpoint control, 공정 시간과 같은 첨단 광간섭 코팅 제품 생산에 핵심적인 파라미터를 향상시킬 목적으로 설계되었습니다. 제조업체는 SPECTOR-HT를 통해 더 견고한 패키지에서 적은 스캐터 손실, 우수한 박막 순도, 안정적인 증착 비율 및 0.1nm 미만 막 두께 제어와 같은 IBS(이온 빔 sputtering) 기술의 질적 이점을 활용하여 낮은 소유 비용으로 throughput을 향상시킬 수 있습니다.

• 향상된 증착 비율 및 로트 크기로 시스템 throughput에서 최대 400퍼센트 throughput 향상 가능
• 대상물 사용에서 최대 300퍼센트 재료 사용률 향상, 유지관리 비용 감소 및 총 소유 비용 향상
• 우수한 박막 균일성이 최적화된 도구 형상과 고유의 IBS 공정 기술이 결합하여 50퍼센트 향상된 재료 균일성 달성
• 공정 융통성을 위해 설계된 SPECTOR-HT는 다수의 방법으로 공정 융통성 향상: 최신 공정 제어 시스템은 작업자가 편리하게 사용할 수 있고 넓어진 로트 크기로 더 많은 공정 선택이 가능하며, 안정적인 증착 비율로 무인 시스템 작업이 가능함
• 권위 있는 2013 R&D 100 수상 기업