원피스형 UNI-Block® 무인듐 Substrate 홀더를 사용해 미립자 생성량을 줄이고 같은 holder ring에서 전체 또는 부분 substrate의 빠른 장착이 가능합니다. 전체 조립 절차는 substrate의 외부 노출을 최소화하면서 30초 이내로 완료됩니다. 와이어나 클립 없이 설치되며 substrate가 항상 아래 방향을 향해 있기 때문에 미립자 오염이 줄어듭니다. 부분 웨이퍼 및 디퓨저 플레이트에 맞는 구성 또는 웨이퍼 뒷면에 광 접속 가능한 다양한 구성이 있습니다.

• 쉬운 substrate 장착
• 미립자 오염 최소화
• 탁월한 온도 균일성
• 실시간 모니터링으로 호환 가능
• 전체 및 부분 substrate와 호환 가능
• 제조업체의 기존 설계 직접 교체
• 무In 장착 옵션

UNI-Block Substrate 홀더는 한 조각의 몰리브덴으로 제조할 수 있어 사용이 간단하고 식각 공정이 편리합니다.