원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 화학 반응의 자체 제한 특성으로 인해, 가장 까다로운 3D 나노구조에 대해서도 전례 없는 두께 컨퍼멀 특성을 달성할 수 있습니다. 결과적으로, 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)은 공동 및 트렌치를 채우고 나노와이어 및 나노튜브를 얻으며, 높은 종횡비의 나노템플릿 및 고표면적 나노입자를 컨퍼멀하게 획득하기 위해 광범위한 박막을 증착하기 위한 선택된 기술이 되었습니다. 오늘날 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)은 모든 고체 리튬 이온 배터리(LIB)부터 물 분해를 위한 고표면적 프레임워크까지 최첨단 응용 분야에서 사용됩니다. 아래는 Cambridge Nanotech 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 도구에서 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)을 사용하여 합성된 고품질 나노구조의 발표된 많은 예들을 간략히 보여줍니다.
컨퍼멀 산화 알루미늄(Al2O3)/TiO2(ATO) 나노-라미네이트 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 필름으로 코팅된 3D 공동의 SEM 단면도. 제공: O. Poncelet, L. Francis, Univ. de Louvain – Fiji® 시스템에서 증착됨.
SiO2 / Fe3O4 / SiO2가 10-30µm 깊이 AAO 나노템플릿에 증착된 마그네틱 철 나노튜브. 종횡비 150 ~ 590으로 3DMASi, FeCp2, 오존을 이용해 Expo 모드로 Savannah®에서 증착됨. Pitzschel, K. et al. ACS Nano 3, 3463–3468 (2009).
inverse opal scaffoldRiha, S. C.에 증착된 Fe2O3 / ITO(in.Tin. Oxide) / SiO2 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 막과 물의 광산화를 위해 높은 표면적을 가진 전도 및 투명 프레임워크의 제조. Acs Appl Mater Inter 5, 360–367 (2013).
고체 전해질 Li5.1TaOz, AAO 구조에서 ALD (Atomic Layer Deposition)에 의해 증착됨. 최대 470:1 종횡비로 Expo 모드로 Savannah®에서 증착됨.
Liu, J. et al., J. Phys. Chem. C 117, 20260–20267 (2013)
리튬 이온 배터리 음극을 위해 탄소 나노튜브에 증착된 전기화학적 활성 LifePO4 ALD 박막. 300˚C에서 Expo 모드로 Savannah® 시스템에서 증착됨.
Liu, J. et al. Adv. Mat. (2014).
doi:10.1002/adma.201401805
실리콘 트렌치 내에 ALD (Atomic Layer Deposition)에 의해 증착된 4차 Cu2ZnSnS4. CZST는 photovoltaic(PV) 응용 분야를 위한 잠재적인 저비용 반도체입니다. H2S 키트와 함께 expo 모드로 Savannah®에서 증착됨.
Thimsen, E. et al. Chem Mater 24, 3188–3196 (2012).
전해질 산화 방지를 위해 LMNO 입자에 대한 전기화학적 활성 배리어로서 초박 FePO4. Expo 모드로 Savannah®에 증착됨.
Xiao, B. et al. Adv. Sci. (2015).
doi:10.1002/advs.201500022
AAO 템플릿의 TiO2 및 염료 감응 태양 전지(DSSC)용 TiO2 나노튜브
Gao, X. J Power Sources (2013).
doi:10.1016/j.jpowsour.2013.04.037
강화된 DSSC의 TiO2-ZnO 코어헤스 복합 구조. 1,3nm 두께의 ZnO 층은 Fiji® F200 시스템에서 ALD (Atomic Layer Deposition)에 의해 증착됩니다.
Ulusoy, T. G., J. Mater. Chem. A2, 16867–16876 (2014).
나노패터닝 고종횡비 금속 산화물 구조를 위한 순차 침윤 합성(SIS). 95˚C에 Savannah®에서 Alox 침윤 완료 SU8.
Nam, C.-Y. J Vac Sci Technol B 33, 06F201–8 (2015).
Fiji® 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템에 증착된 AIN 나일론 6,6 나노섬유.
Haider, A. et al. APL Mater. 2, 096109–9 (2014).
AAO 템플릿을 제거한 후 백금 나노튜브 배열 전극. Pt deposited by ALD in Fiji® F200.
Galbiati, S. Electrochimica Acta 125, 107–116 (2014).
Expannah®에 엑스포 모드로 증착된 단결정 ZNal2O4 스피넬 나노튜브.
Jin fan, Nature Materials 5, 627–631 (2006).
ZNo-Al2O3 코어쉘 나노와이어(coreshell nanowire), Fiji® 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템에서 합성됨.
Thomas, J Vac Sci Technol A 30, (2012).
산화 방지를 위해 산화 알루미늄(Al2O3)/ZRo2 나노라미네이트를 사용하는 단일 셀 Photonic nanocavity 프로브
Shambat, G. et al. Single-cell Photonic Nanocavity Probes. Nano Lett 130206113907001 (2013).
doi:10.1021/nl304602d