화학자들은 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)에 대한 흥미진진한 새로운 전구물질을 다량 합성하고, 금속, 반도체, 절연체, 산화물, 질화물, 유전체, 자기 및 굴절 코팅제에 향상된 특성을 가진 코팅제와 같이 많은 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 소재를 만들었습니다.
| 산화물 | 질화물 | 황화물 | 금속 / 텔루라이드 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AI2O3 | Fe2O3 | Li3PO4 | NiFe2O4 | V2O5 | AlGaN | MnN | CdS | Co |
| Al:HfO2 | Fe3O4 | LiPON | NiO | WO3 | Aln | NbN | CoS | Cu |
| Al:ZnO | FePO4 | LiFePO4 | NiO | Y2O3 | BxGa1-xN | NbTIn | Cu2S | Fe |
| AlGaN | Ga2O3 | Li2MNo4 | PO4 | YSZ | BxIn1-Xn | Sin | Cu2ZNsNs4 | Mn |
| BOx | HfO2 | Li5TaOz | SiO2 | ZNal2O4 | COn | TaN | In2S3 | Ni |
| BiFeo3 | HfSiON | MgO | SnO2 | ZnO | Hf3N4 | TiN | MnS | Pd |
| CeO2 | In2O3 | MnO2 | SrO | ZnMgO | InAlN | WN | PB | Pt |
| Co3O4 | ITO | MoO3 | SrTiO3 | ZNoS | InGaN | ZrN | Sb2S3 | Ru |
| CoFe2O4 | La2O3 | NaTiO | Ta2O5 | ZrO2 | InN | SnS | Bi2Te3 | |
| Er2O3 | Li2O | Nb2O5 | TiO2 | ZnS | Sb2Te3 | |||