원자층 증착

원자층 증착

Veeco의 원자층 증착 시스템(Firebird™, Savannah®, Fiji®, Phoenix®)은 구멍, 트렌치 및 공동 내부 깊숙한 곳에서도 두께가 완벽하게 균일하면서 핀홀이 없는 코팅 증착을 할 수 있게 설계되었습니다.

Firebird 원자층 증착 시스템 소개

Firebird 시스템은 웨이퍼당 최저 비용과 업계 최고의 throughput으로 고도의 균일성을 제공하는 완전 자동화된 배치 생산 ALD 플랫폼입니다. 검증된 Veeco 자동화 솔루션을 통합함으로써 저충격 배치 전송을 통해 안전한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 모듈식 예열 및 냉각 설계로 사용자의 사양에 맞춘 유연한 열 관리 솔루션이 가능합니다. Firebird 시스템은 고용량 리액터를 지원하고 소모품/유지 비용이 적게 들고 적은 공간을 차지하기 때문에 귀사의 throughput 요구 사항을 충족하면서도 비용 효율이 가장 우수한 솔루션을 제공합니다. 자세히 알아보려면 여기를 클릭하십시오.
 
Firebird ALD 시스템