원자층 증착(ALD) 시스템 및 솔루션

원자층 증착 시스템

10nm 및 7nm 노드 생산으로 장치 노드 축소가 계속되고 3nm로 개발이 진행됩니다. 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 도구는 가장 미세한 노드에서도 코팅에 최고의 정밀성과 균일성을 제공합니다. 참고문헌

현장에서 입증된 반자동 배치 Phoenix® 시스템은 중간 규모의 배치 생산을 위해 탁월한 성능을 제공합니다.

Savannah®는 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)을 연구하고 있고 경제적이면서도 견고한 제품을 찾는 전 세계 대학교 연구원들에게 적합한 시스템입니다.

Fiji® 시리즈는 다음을 사용하여 다양한 증착 모드를 수용하는 모듈형 고진공 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템입니다.