그리드형 RF 이온 소스

Veeco의 그리드형 RF 이온 소스는 장기 이온 빔 증착 공정의 생산성 향상을 위해 설계되었습니다.

그리드형 RF 이온 소스

Veeco의 그리드형 RF 이온 소스는 장기 이온 빔 증착 공정의 생산성 향상을 위해 설계되었습니다.

이온 소스 작업 시 최첨단 정밀 제어 기능을 갖춘 Veeco의 NOVUS RF 이온 소스 컨트롤러를 사용해 안정적으로 전원을 공급받을 수 있습니다…
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Veeco의 6 x 22cm gridded 선형 RF 이온 소스는 substrate를 사용하는 고생산성 인라인 시스템용으로 설계되어…
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대규모 substrate의 균일 가공에 이상적인 Veeco의 6 x 66cm RF 선형 이온 소스는 유지관리의 필요성이 적고 filamentless 작업 방식을 제공합니다…
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반응 공정에서 사용하기 적합한 Veeco의 16cm RF 고출력 HP 이온 소스는 빔 균일성을 제공합니다…
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IBA(이온 빔 어시스트) 또는 IBD(이온 빔 증착) 등 반응 공정에 폭넓게 사용되는 균일한 이온 빔 소스입니다.
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IBA(이온 빔 어시스트) 또는 IBD(이온 빔 증착)와 같은 장기 무중단 반응 공정의 성능과 품질을 높입니다…
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