이온 빔 시스템과 소스

Veeco의 독보적인 이온 빔 노하우는 수십년 동안 데이터 스토리지 및 MEMS 시장에서 식각 및 증착 성능을 입증해 왔습니다.

이온 빔 시스템

Veeco의 독보적인 이온 빔 노하우는 수십년 동안 데이터 스토리지 및 MEMS 시장에서 식각 및 증착 성능을 입증해 왔습니다.

Sputtering 시스템

재료가 가장 중요한 상황에서 초정밀 고순도 박막 층 장치가 빔 증착 시스템을 통해 최대의 균일성과 재현성을 달성합니다.

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증착 시스템

IBD(이온 빔 증착) 시스템은 최고의 균일성과 재현성으로 초정밀 고순도 박막 적층 장치를 만들어 줍니다.

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식각 시스템

정밀하고 정교한 식각을 자랑하는 NEXUS® IBE(이온 빔 식각) 시스템으로 개별적인 microelectronic 장치와 구성요소를 우수한 수율로 생산합니다.

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이온 소스

Veeco는 업계 유일의 선형 그리드 소스 등의 다양한 분야에 가장 폭넓은 이온빔 소스를 제공합니다.

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Diamond-Like Carbon(DLC)

microelectronics, 의료 기기 및 자동차 부품은 당사의 증착 시스템으로 만든 다이아몬드 유사 탄소 필름으로만 구현할 수 있는 내열성과 저항성이 필요합니다.

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