레이저 프로세싱 시스템

레이저 프로세싱 시스템

Veeco는 최첨단 기술 노드에서 혁신적인 저소유비용으로 HVM 생산에서 입증된 열 어닐링 솔루션을 제공합니다. 선도적인 레이저 스파이크 어닐링 기술로 중요한 차이 만들기

• 낮은 열 예산 - 확산 없는 수퍼 활성화로 중요한 장치 성능 개선
• 비활성화 제거 - 이중 빔 기술로 dopant 없는 비활성화로 장치 개선 유지
• 패턴 종속성 감소 – 다이 내에서 다이 간 균일성 개선
• 폐쇄 루프 온도 제어 – 실시간 공정 제어 및 FDC를 통한 신뢰성 있는 생산