자체 조립식 단층(SAMS)
Savannah® SAMS 키트 옵션은 증기 위상에 자체 조립을 통해 다양한 유기 단층을 증착할 수 있습니다. 증기 상에서 SAMS 증착의 자체 제한적 성질로 인해, SAMS 필름은 더 엄격한 3D 나노구조체보다 고도로 컨퍼멀하고 균일합니다. 또한, 액체 상에서 24 ~ 48시간 걸리는 것과는 반대로 수 분 내에 완전 조립 단층을 완료할 수 있습니다. 실시간 진단(QCM, ellipsometry) 및 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 기능과 함께, 다양한 유기/무기 박막을 증착하는 우수한 R&D 솔루션을 나타냅니다.
증기 상 증착 SAMS
자체 조립 단층의 증기 상 증착은 금속, 산화물, 중합체 및 섬유를 포함한 다양한 표면을 신속하게 기능화하는 다목적 및 저비용 솔루션을 나타냅니다. 낮은 열 예산 공정(<100°C)을 통해, 표면 특성은 원자 크기에 맞춤화될 수 있어 습윤성(소수성, 친수성), 접착력 및 점착성, 전기, 화학 및 생화학적 특성을 제어하는 등 몇 가지를 예로 들 수 있습니다. SAM은 또한 나노입자, 바이오 분자를 위한 이상적인 수단을 제공하거나 시드 층으로 사용될 수 있습니다. 또한 선택적 영역 증착에도 성공적으로 사용되었습니다.
증기 상 증착을 통해서 MEMS 및 NEMS에서 발생하는 복잡한 3D 마이크로 및 나노구조를 포함하여 안정적인 단층이 5-10분 내에 균일하게 증착될 수 있습니다. 이 건식 진공 기반 공정은 시료 청결도 및 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 공정과의 통합을 보장함으로써 연구자들이 하이브리드 유기/무기 합성을 통해 표면 특성을 조정할 수 있습니다.
실란, 티올 및 인산을 포함하는 광범위한 SAMS 필름이 증착될 수 있습니다.
SAMS 응용 분야
- 선택적 영역 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)을 위한 억제층
- 유기 박막 트랜지스터
- 유연한 전자장치용 투과성 코팅
- 나노구조 기능화
- MEMS에 대한 미끄럼 방지
- 생물감지 / 세포 접착 / 단백질 흡착
- 습윤성/투과성 제어를 위한 대형 표면적 코팅
SAMS 옵션은 광범위한 표면을 신속하게 기능화하여 습윤성을 제어할 수 있습니다. 여기에는 FDTS 코팅으로 작동하는 실리콘 표면의 예가 있으며, 10분 노출 후 115˚의 물 접촉각에 이릅니다
원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시드 층을 갖는 FDTS의 119˚ 접촉각
SAMS 키트 옵션을 통해 최적의 성능과 재현성을 달성하기 위해 SAMS 용량을 정확하게 제어할 수 있습니다.
증기 상 증착 SAMS를 사용하면 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 필름을 선택적으로 증착하기 위한 빠르고 다양한 접근법을 제공합니다. 다음 예에서는 구리 대 SiO2에 C18 SAMS를 선택적으로 증착하면, 뒤이어 구리 상의 질화 하프늄의 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 성장을 억제하지만 SiO2는 그렇지 않습니다. 이 작업은 IMEC에서 Silvia Armini의 연구 그룹과 협업의 일부입니다.
SAMS 키트 사양
| 시스템 | Savannah® S100, 200 & 300 |
| 최대 키트 수 / 도구 | 최대 2 |
| Substrate 크기 | S300의 경우 최대 300mm |
| 일반적인 실행 시간 | 5-20분 |
| 용량 제어 | ±0.5µmol |
| 전구물질 온도 | 최대 200˚C |
| 어큐뮬레이터 온도 | 100˚C, 압력 게이지 포함 최대 150˚C(게이지 제외) |
| 용량 압력 범위 | 0-10 Torr, 바라트론 이용 |
| 공반응제 | H2O, 오존, 공기 |
| 시드 레이어 | 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 산화물 및 금속 |
| Pump | 퍼지 키트가 있는 Adixen 2021C2 |
| 소프트웨어 통합, 엔드포인트 제어 |
표준으로 구현 Savannah® 소프트웨어 |
| FDTS 접촉각 | >110˚ |
| FOTS 각도 | >105˚ |
| DTS 각도 | >100˚ |
