특수 소스

Veeco는 filament 1개형 및 2개형 설계 등 가장 광범위한 소스를 제공합니다.

저온 가스 소스

Veeco의 저온 가스를 사용하면 CBr4 및 NH3 등의 MBE(분자선 결정성장) 시스템용 소스 가스를 저렴하게 주입할 수 있습니다…
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산소, 질소, 수소용 범용 전구 RF 플라즈마 소스

전자 및 광전자공학 재료의 GaN 성장을 위한 최적의 조건과 더불어 탁월한 플라즈마 안정성 및 재현성을 자랑합니다…
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가스 분해기

고성능 UHV 가스 공급에 사용되는 Veeco의 가스 분해기는 flux uniformity를 최적화하는 독특한 기능이 있습니다.
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개폐식 소스

Veeco의 개폐식 소스는 유지 관리 및 시스템 uptime을 위한 소스 용량, 소스 제거를 포함하여 MBE의 기능적 제한 문제를 해결해줍니다.
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H 원자 소스

1800-2200°C 범위의 작업용으로 설계된 완전 내화성 금속 소스인 Atom-H 원자 소스는 대부분의 준비 및 성장…
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항산소 소스

수명이 긴 Veeco 항산소 소스를 사용하면 중온 분압 조건에서 정밀한 MBE 작업이 가능합니다.
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