Veeco의 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 연구 시스템은 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 과학자들이 설계하며 최대의 실험 유연성 및 가치를 위해 제작됩니다. 범용 전구물질 전달 시스템을 사용하면 모든 전구물질 포트에서 고체, 액체 또는 가스 화학물질을 사용할 수 있습니다. 오존 발생기, 실시간 모니터링 및 다양한 구성을 포함하여 선택할 수 있는 옵션이 많이 있습니다. 늘 그렇듯이, 당사의 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 과학자들로 구성된 팀은 고객의 레시피 개발 및 필름 특성 규명 질문에 답할 준비가 되어 있습니다. 당사의 Savannah® 열 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템 및 Fiji® 플라즈마 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 시스템에 대해 수행된 연구가 2500편이 넘게 발행된 학술 논문에 발행되었습니다.
전 세계적으로 300 이상 설치된 Savannah® 시리즈는 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 연구 및 개발을 위한 표준입니다. Savannah®는 사용 편의성과 뛰어난 실험 유연성을 콤팩트하고 저렴한 패키지로 결합시켰습니다.
당사의 Savannah® 시리즈는 저렴하고 신뢰할 수 있는 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition) 연구 시스템을 찾고 있다면 시작하기에 완벽한 제품입니다.
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더 고급 요구 사항에 훨씬 더 큰 실험 유연성을 필요로 할 경우, Fiji는 고객의 요구에 맞는 시스템입니다. 전 세계적으로 100대 이상의 시스템이 설치되었습니다. Fiji는 모듈형으로 고객의 특정 요구에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.
Fiji®는 플라즈마 강화 원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)을 가능하게 하는 플라즈마 생성기가 장착됩니다. 클린룸 호환성 및/또는 옵션 로드록을 위해 구성할 수 있습니다.
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