SOLUS DC 이온 소스 컨트롤러

Veeco의 DC 그리드형 이온 소스에 대한 업계 선두의 전력 공급 시스템

Veeco의 SOLUS™ DC 이온 소스 컨트롤러는 첨단 정밀 제어 시스템 설계를 특징으로 가지고 모든 유형의 공정에서 이온 소스 작업에 대해 신뢰할 수 있고 안정적인 전력을 제공합니다. 통합 전력 모듈과 비율 기능이 있는 가스 흐름 제어는 대부분의 까다로운 공정 환경에서 이온 소스의 제어와 성능을 최적화합니다.

• 싱글 버튼 작업으로 사용하기에 간편
• 수동, 자동 및 원격 작업 옵션
• 플라즈마 안전성을 개선시키는 첨단 제어
• 가스 흐름 제어 통합 및 구성 가능
• 맞춤 조정 소스 작업에 대한 제어 설정 맞춤 조절 가능
• 시간 절약 문제 해결 기능
• 유용한 이벤트 및 상태 기록 화면