Veeco의 셀레늄 분해 밸브는 전 세계 유명 II-VI 연구 그룹에서 사용됩니다. 여러 개의 가열 구간은 균열 또는 비균열 셀레늄 flux를 생성하는 데 작동될 수 있습니다. 전체가 금속으로 된 needle valve가 도가니부터 컨덕턴스 튜브를 거쳐 성장 모듈에 이르기까지 가스 흐름을 조절합니다. 컨덕턴스 튜브는 셀레늄 증기의 화학적 공격에 저항하도록 탄탈륨으로 구성되어 있습니다.
최근에 향상된 Mark V 셀레늄 분해 밸브는 노즐을 사용해서 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.
Veeco의 셀레늄 분해 밸브는 500cc 및 1200cc 크기로 제공되므로 다양한 MBE 시스템과 호환 가능합니다. 배출 노즐은 웨이퍼 또는 platen 전반에 걸쳐 flux uniformity가 탁월한 특정 MBE 시스템에 맞춤화되어 있습니다. Veeco의 자동화된 Valve Positioner SMC-II를 이 소스와 함께 사용하는 것이 이상적이며 이를 통해 needle valve를 안정적으로 자동 제어할 수 있습니다.
Veeco의 셀레늄 밸브 소스는 다른 표준 소스와 비할 데 없는 편의와 flux 제어를 자랑합니다. Needle valve로 거의 즉각적인 flux 모듈화와 완벽한 flux 차단이 이루어지므로 최적의 성장 공정 제어가 가능합니다. 충전 재료의 공핍 현상 없이도 작동 온도로 소스를 지속적으로 유휴 작동할 수 있습니다. 기존의 개방형 소스에서 사용되던 열 제어 대신 기계적 flux 제어로 소스의 반응성을 제한하지 않고 충전량을 임의로 높일 수 있습니다.
장점:
ZnMgSSe/ZnSSe/ZnCdSe를 토대로 한 청색/녹색 발광 다이오드의 성공적인 성장으로 탁월한 flux 안정성과 반응성이 입증되었습니다.