LED 생산을 위한 TurboDisc EPIK 868 MOCVD 시스템

최대 자본 효율성 및 설치 공간과 첨단 성능

Veeco의 EPIK® 868은 결함이 적고 우수한 균일성과 낮은 결함성 확보가 가능한 LED 업계 최고 성능의 MOCVD(유기 금속 화학 증착) 시스템입니다. 4개의 리액터 구성으로 제공되는 EPIK 868은 전체 웨이퍼 캐리어에 층상 흐름과 균일한 온도 프로파일을 제공하는 독점적인 IsoFlange™ 및 TruHeat™ 기술이 포함된 혁신적인 기술이 특징입니다. 이러한 기술 혁신은 미니 및 마이크로 LED에 필요한 높은 수율을 제공합니다. EPIK 868에 내재된 TurboDisc® 기술은 최고의 시스템 가용성과 uptime을 지원합니다. 대량 생산을 위해 설계된 EPIK 868 대용량 캐리어는 다양한 4” 또는 6” 웨이퍼 크기를 수용하여 소유 비용을 절감할 수 있습니다. 고객은 쉽게 기존 TurboDisc 시스템에서 새로운 EPIK 868 MOCVD(유기 금속 화학 증착) 플랫폼으로 공정을 이송하여 고품질 LED를 빠르게 생산할 수 있습니다.

• 낮은 결함성의 우수한 균일성
• 콤팩트 클러스터 아키텍처
• 최대 생산을 위한 높은 throughput 아키텍처