광학 코팅을 위한 SPECTOR 광역 이온 빔 증착 시스템

Throughput 향상 및 탁월한 재료 균일성

Veeco의 SPECTOR® 광역 플래닛형 IBD(이온 빔 증착) 시스템은 타의 추종을 불허하는 이온 빔 박막 품질과 전자빔 시스템에 필적하는 배치 규모를 자랑합니다. 전체 코팅 면적이 더 넓을 뿐 아니라 견고한 구조물로 최대 직경 400mm, 두께 100mm의 단일 결정 substrate 가공도 가능합니다. Veeco는 우수한 증착률과 박막 품질을 보장하고자 16cm RF 고전력 증착 소스와 초저오염 RF 중화제를 포트폴리오에 추가했습니다. stoichiometry 제어 성능을 극대화하고 실시간 substrate 사전 세척 또는 식각을 지원하기 위해 이 시스템에 12cm RF 보조 이온 소스를 사용할 수도 있습니다.

• 업계 최고의 throughput과 이온 빔 품질로 소유 비용 최저
• 400mm 플래닛에 달하는 탁월한 재료 균일성으로 제품 수율 극대화 보장
• 고전류 RF 이온 소스로 증착률 우수
• 다양한 substrate와 팔레트를 지원하므로 제품 융통성 최대