광학 코팅을 위한 SPECTOR 이온 빔 증착 Sputtering

턴키식 정밀 광학 박막 제조

Veeco의 SPECTOR® IBS(이온 빔 Sputtering) 광학 코팅 시스템으로 우수한 정밀도와 박막 공정의 유연성을 얻을 수 있습니다. 고정물과 목표 어셈블리를 여러 가지로 선택할 수 있고 첨단 광학 모니터링 시스템을 갖춘 SPECTOR IBD 광학 코팅 시스템은 사실상 모든 광학 박막 제조 분야에서 수율과 장치 성능에 대한 요건을 만족합니다.

SPECTOR 이중 이온 빔 Sputtering 시스템

• 교환 가능한 플랫폼에 플래닛형, 단순 회전형 또는 반전형 고정물 사용 가능
• 200GHz, 100GHz 및 전기통신용 50GHz DWDM 필터의 수율 우수
• narrow passband, wide stopband, steep slope, low insertion loss 등 엄격한 장치 사양 만족
• AR 코팅, 복합 non-quarter 파장 코팅, 초저손실 레이저 미러 생산
• 흡수 및 산란 수준이 한 자리수(ppm)에 불과한 미러 제조
• 고에너지 공정으로 패킹 밀도가 높고 pin-hole density는 낮음
• 저압 작업으로 박막 순도 우수
• 탁월한 박막 두께 제어 성능

독특한 그래픽 인터페이스와 실시간/애니메이션 동작을 특징으로 한 SOURCERER System Manager를 갖춘 SOURCERER® 시스템 관리자는 현재 출시된 어떤 이온 빔 시스템 제어 패키지보다도 제어 성능과 융통성이 뛰어납니다. 공정 엔지니어는 간단한 명령을 사용하거나 박막 설계를 손쉽게 가져와서 자동화된 고급 Recipe를 개발하고, 공정 run을 시작한 다음, run이 완료되면 원래 상태로 돌아올 수 있습니다. 여기에 Veeco의 탁월한 공정 지식과 전 세계에 산재한 믿음직한 서비스 조직이 가세하는 Veeco 제품은 판매 이전은 물론 이후에도 업계 표준으로 통합니다.