6cm x 30cm DC 이온 소스

광범위한 대량 Substrate 또는 대량 Substrate 배치용 선형 소스

Veeco의 성능이 입증된 선형 gridded DC 이온 소스는 광범위한 대량 개별 substrate 또는 대량 substrate 배치를 이용하며 고도의 균일성과 신뢰성을 발휘하는 IBD(이온 빔 증착) 공정 플랫폼에 적합합니다. 선형 또는 원통형 고정물에 사용하면 탁월한 효과가 있습니다.

• Veeco가 자랑하는 세계 정상급 원형 이온 빔 소스와 동일한 혁신적 설계, 품질 및 신뢰성을 특징으로 가짐
• 균일한 플라즈마 및 우수한 전류 밀도 제공
• 소스당 최고 500mA의 공칭 빔 전류 사용 시 50eV에서 2000eV에 달하는 폭넓은 에너지 범위 지원
• 전원 공급 방식에 따라 최대 800mA의 빔 전류 이용 가능