그룹 III(특히 Al) 재료 증발용으로 가장 알맞은 MBE(분자선 결정성장) 소스 기술인 Veeco의 특허 받은 Cold Lip SUMO® 소스로 두께 균일성과 흐름 안정성을 얻는 한편 손상을 방지할 수 있습니다. cylindrical 저장 탱크와 소형 테이퍼드 오리피스가 장착된 특허 받은 특수 도가니를 사용하며, 넉넉한 용량과 탁월한 flux uniformity, 최소한의 shutter flux transients 또는 장기적 공핍 효과가 장점입니다.

• 특허 받은 설계로 350개 이상 현장 배치
• 늘어난 용량
• Al 크리프로부터 인한 손상 방지
• 일상적인 flux calibration을 최소화하는 고도로 안정적인 작업
• shutter flux transients 대폭 감소
• 미미한 백그라운드 불순물
• 재료 품질을 최적화하는 PBN 도가니 구조

SUMO 소스는 그룹 III 재료를 위한 최적의 소스 기술입니다. 특별히 알루미늄 증발을 위해 설계된 cold-lip 소스는 PBN 알루미늄 습윤으로 흔히 일어나는 재료의 범람을 방지합니다.

SUMO 설계는 독특한 모양의 도가니에 맞춘 이중 filament 히터와 사용자 정의 열 차폐 마개를 사용합니다. 히터와 열 차폐는 도가니 오리피스 바깥쪽의 의도적인 cold lip으로 도가니 본체를 효율적으로 가열하도록 배치되었습니다. 오리피스 밖으로 흘러나오는 알루미늄은 소스를 손상시키지 않고 큰 입구 부분에서 얼어붙습니다. "cold-lip" 모드로 작동하는 이중 filament로 온도 변화율을 조절하여 특정 소스 포트와 소스 충전 수준에 맞는 알루미늄 flux uniformity를 최적화할 수 있습니다.

특허 받은 도가니 기능:

• 넉넉한 충전량을 자랑하는 cylindrical 저장 탱크와 장기적 공핍 효과 최소화
• flux 분배를 최적화하는 소형 테이퍼드 오리피스와 신경 쓰지 않아도 될 정도의 shutter flux transients
• 소스 밖으로 흘러나오는 모든 알루미늄을 얼려 소스를 보호하는 cold zone의 넓은 입구. 정상적으로 작동한다면 알루미늄은 도가니 오리피스 밖으로 흘러나오지 않습니다. 알루미늄이 흘러나오는 문제가 특히 심각한 질화물 응용 분야의 경우 Veeco는 재료별로 입구 길이를 늘리는 SUMO 도가니를 제공합니다. 도가니의 PBN 입구를 늘려서 도가니 cold zone을 더욱 강화하고 용융 알루미늄과 질화물 화합물의 봉쇄 효과를 높여 줍니다.
• 재료 품질을 최적화하는 PBN 도가니 구조

SUMO 소스는 다양한 크기가 준비되어 있으므로 사실상 모든 MBE 시스템과 호환 가능합니다.

성능 및 장점

SUMO 소스는 재료 품질 또는 소스 성능을 잃지 않으면서도 가장 큰 그룹 III 충전량을 자랑합니다. 전 세계의 설비에서 substrate 전반에 걸친 우수한 두께 균일성과 탁월한 재료 품질을 실현하고 있습니다.

장점:

• 넉넉한 충전량. 다른 판매 회사의 기존 그룹 III 소스를 비교해 보면 알루미늄 충전량은 두 배가 될 수도 있습니다.
• 우수한 균일성. SUMO 소스는 기존의 권장 소스로 대부분의 MBE 시스템에서 도달한 두께 균일성을 맞추거나 초과하도록(±1%) 설계되었습니다.
• 장기적 flux 안정성. 독특한 형태의 SUMO 도가니는 원추형 도가니에서 흔히 발생하는 장기적 공핍 효과를 최소화합니다. SUMO는 일정한 용해 표면으로 일상 작업을 재현 가능하고 더 일정하게 해 줍니다. 일정한 beam flux가 온도 변화가 미세하거나 거의 변하지 않는 상태로 유지됩니다.
• shutter 관련 flux transients 감소. SUMO 도가니의 소형 오리피스 뒤에 매입된 용해 표면은 대부분의 반사된 방사선을 차단합니다. PBN 도가니와 열 차폐 마개로 닫힌 셔터의 뒷면에서 반사된 열이 확산됩니다.
• 탁월한 재료 품질. 효율적인 이중 filament 가열로 결합된 PBN 도가니 구조와 소형 도가니 오리피스는 주변 시스템의 열 부하를 덜어 주고 성장층의 백그라운드 불순물을 줄여 줍니다.

cold-lip 모드로 작동하는 SUMO 소스는 대부분의 응용 분야에 최적화된 알루미늄 소스입니다. 더 작은 충전량이 허용되고 빠른 소스 온도 상승이 중요한 경우 이중 또는 단일 표준 Filament 소스가 더 바람직할 수 있습니다.