GEN2000® MBE 시스템은 탁월한 throughput과 긴 캠페인 시간, 컴팩트한 배치도, 간결한 cluster tool 웨이퍼 공정을 갖추고 있습니다. HBT나 pHEMT와 같은 무선 전기통신 장치를 대량 제조하거나 낮은 소유 비용으로 다중-6" 생산이 필요한 새로운 응용 분야에 이상적인 선택입니다.

• 업계 최저 수준의 웨이퍼당 원가 제공
• 동급 MBE 시스템보다 배치도를 40퍼센트 - 60퍼센트 줄인 탁월한 설계
• 최대 2가지 성장 모듈을 사용할 수 있는 모듈식 구조로 throughput 향상 또는 비호환 재료 처리 가능
• 용이한 유지관리로 uptime 극대화
• 선택적 벌크헤드 설치로 cleanroom 공간 최적화
• 업계에서 가장 혁신적이고 신뢰할 수 있는 시스템 하드웨어, 소스 및 구성 요소 통합