Veeco 고온 소스는 최고 2000°C의 온도에서 충전 재료를 열 증발시킵니다. 이 컴팩트한 MBE 소스는 시스템에 과도한 열 부하를 주지 않고 고온을 얻을 수 있도록 효율적으로 작동합니다. 또한 낮은 전원 요건은 히터 filament의 수명을 향상시킵니다.

• UHV에서 최고 온도 2000°C
• 다중 웨이퍼 4” 시스템용 소스
• 내산화 소스 구조
• 사용자 교체 가능한 열 차폐 및 filament
• 소스 425개 이상 현장 사용 중

hot zone은 내화 텅스텐과 탄탈륨만으로 구성되어 있으며 높은 작동 온도에서도 UHV 청정 작업을 보장합니다. 오리피스 열 차폐와 텅스텐 히터 filament는 현장에서 교체 가능합니다. PBN과 같은 절연 세라믹은 소스의 저온 부분에 제한되어서 작업 중 outgassing을 방지합니다.

• 6cc 및10cc 직선 벽. 소형(2”) substrate 및 부분 웨이퍼와 사용하기에 적합
• 24cc 원추형. 3” 이상 substrate 증착에 적합한 충전량과 flux uniformity
• 26cc SUMO. 모든 SUMO 도가니와 같이 이 소스는 최대 이용 가능 용량, 탁월한 flux uniformity, 장기적 flux 안정성 및 3” 이상의 substrate 증착을 위한 효율적인 소스 작업을 실현합니다.
• 78cc 원추형. 다중 4” 또는 단일 8” 시스템에서 증착 용량 최대

도가니는 내화 금속과 세라믹 재료로 이용 가능합니다. 원하는 evaporant 재료에 따라 적합한 선택이 달라지게 됩니다. 반응성 재료는 세라믹 라이너와 결합된 메탈 도가니에서 많이 증발됩니다. 제조 제약 조건 때문에 SUMO 설계는 일부 도가니 재료에는 이용할 수 없습니다.