NOVUS RF 이온 소스 컨트롤러

Veeco의 RF 그리드형 이온 소스에 대한 업계 최고의 전력 공급 시스템

Veeco의 NOVUS RF 이온 소스 컨트롤러는 첨단 정밀 제어 시스템 설계를 특징으로 모든 종류의 공정에서 이온 소스 작업에 신뢰할 수 있으며 안정적인 전력을 제공합니다. 전력 모듈, 향상된 RFN 작업 및 비율 기능이 있는 통합 가스 흐름 제어는 대부분의 까다로운 공정 환경에서 이온 소스의 제어와 성능을 최적화합니다.

• 고급 빔 제어 알고리즘의 우수한 공정 안정성
• 변수 주파수 기술로 편리해진 중화제 작업
• 정교한 장애 처리 회로의 우수한 내구성
• 맞춤 조정 소스 작업에 대한 제어 설정 맞춤 조절 가능