광학 코팅 제조업체를 위한 Quest Broadband Optical Monitor 시스템

우수한 재현성과 탁월한 공정 제어가 가능한 층 말단 정밀 제어

Veeco의 Quest Broadband Optical Monitor는 생산 substrate를 비쿼터웨이브로 직접 제어합니다. 다양한 알고리즘 항목과 선택 가능한 파장 범위로 첨단 광학 설계 제어 기능을 사용할 수 있습니다.

• 이전 제품 대비 최대 10배 향상된 층 두께 제어
• calibration run 감소를 통해 생산 활용도 향상
• 비연속 run으로도 재현성 0.1퍼센트 미만 달성
• 사용자 친화적 인터페이스로 편리해진 셋업
• 기존의 SPECTOR와 SPECTOR-HT IBD 시스템에 완전 통합